一種可行的解決方案就是采用電容式方案，來(lái)制造微型麥克風(fēng)。這一方法的優(yōu)點(diǎn)就是：在集成電路制造工藝中使用的所有材料都可用于傳感器的制造。但是采用單芯片工藝制造微麥克風(fēng)有相當(dāng)難度，因?yàn)樵趦蓚€(gè)電容極板之間的空氣介質(zhì)只能有很小的間隔。而且，由于尺寸的限制，在一些應(yīng)用場(chǎng)合偏置電壓很難滿(mǎn)足。基于上述問(wèn)題，對(duì)于電容式麥克風(fēng)的研究一直沒(méi)有間斷過(guò)
電容式麥克風(fēng)有兩塊金屬極板，其中一塊表面涂有駐極體薄膜（多數(shù)為聚全氟乙）并將其接地，另一極板接在場(chǎng)效應(yīng)晶體管的柵極上，柵極與源極之間接有一個(gè)二極管。當(dāng)駐極體膜片本身帶有電荷，表面電荷地電量為Q，板極間地電容量為C，則在極頭上產(chǎn)電壓U=Q/C，會(huì)議室全向麥克風(fēng)定制，當(dāng)受到振動(dòng)或受到氣流地摩擦?xí)r，由于振動(dòng)使兩極板間的距離改變，即電容C改變，
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