并裝局部無(wú)塵室(Clean Spot):將無(wú)塵室等級(jí)10,000~100,無(wú)塵室設(shè)備拆卸運(yùn)輸公司,000之亂流無(wú)塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。潔凈工作臺(tái):等級(jí)Class 1~100級(jí)。潔凈工作棚:為在亂流式之無(wú)塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用***之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高之潔凈空間,其等級(jí)為10~1000級(jí),無(wú)塵室設(shè)備吊裝搬遷報(bào)價(jià),高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動(dòng)輪,可為彈性運(yùn)用。
(1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時(shí),其綜合經(jīng)濟(jì)性一般往往可取。
(2)潔凈度要求嚴(yán)的潔凈室,末級(jí)過(guò)濾器滿布率時(shí),對(duì)大的系統(tǒng)采用FFU,常州無(wú)塵室設(shè)備,當(dāng)前還是不經(jīng)濟(jì)的;對(duì)小系統(tǒng)有意義作具體比較。
(3)對(duì)潔凈度要求不甚嚴(yán)的潔凈室,末級(jí)過(guò)濾器滿布率≤40%時(shí)對(duì)大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟(jì)性往往相差不多,但對(duì)IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的,因此當(dāng)前IC工廠對(duì)過(guò)濾器滿布率≤40%時(shí),采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。
無(wú)塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無(wú)塵室。
每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,無(wú)塵室設(shè)備搬遷公司電話,就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A。應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
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