1現(xiàn)代化的工業(yè)生產(chǎn)對(duì)空氣濕度的重視程度日益提高，要求也越來(lái)越高，對(duì)于電子芯片廠房，如果濕度不能滿足要求，將會(huì)靜電，使產(chǎn)品的成品率下降、芯片受損，嚴(yán)重影響企業(yè)生產(chǎn)。
本工程為集成電路產(chǎn)品的生產(chǎn)項(xiàng)目，潔凈區(qū)平面為島型布置，操作區(qū)潔凈度為4，5級(jí)， 由于生產(chǎn)工藝的要求，對(duì)溫、濕度的要求很高：溫度21℃ ±0．5℃ ，相對(duì)濕度40％ ± 3％ ；設(shè)備區(qū)潔凈度為5．5級(jí)，無(wú)特定溫、濕度要求。凈化空調(diào)系統(tǒng)采用風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元(FFU) 干表冷器 新風(fēng)處理機(jī)組的型式。操作區(qū)為送風(fēng)區(qū)，設(shè)備區(qū)為回風(fēng)區(qū)。冷源分為兩種：低溫冷凍水(0℃～5 oC)， 中溫冷凍水(12℃～16℃)；熱源為38℃～32℃ 的熱水， 由熱水鍋爐和帶熱回收的冷凍機(jī)組提供。潔凈區(qū)的溫度由干表冷器控制，相對(duì)濕度由新風(fēng)處理機(jī)組控制。但是它的霧化粒子的顆粒大，均勻性差，容易浪費(fèi)水源，不是特別適合于室內(nèi)加濕。
2 加濕方案選擇
由于熱源使用熱水，沒(méi)有蒸汽系統(tǒng)， 出于減少系統(tǒng)種類的考慮，首先選擇非蒸氣的加濕方式。淋水室加濕為等焓加濕，在加濕過(guò)程中不僅可以清潔新風(fēng)，部分去除新風(fēng)中的灰塵；還可以使新風(fēng)中的一部分化學(xué)物質(zhì)溶解于水， 降低新風(fēng)中的化學(xué)物質(zhì)的含量。淋水室全年運(yùn)行，冬季用于加濕、清潔新風(fēng)，夏季則起到清潔新風(fēng)的作用。淋水室的缺點(diǎn)是占用空間大，在新風(fēng)處理機(jī)組中長(zhǎng)度為1．9 m；與空氣直接接觸，易受污染變臟，需要定期排污。新風(fēng)處理機(jī)組由初效過(guò)濾器、中效過(guò)濾器、一級(jí)加熱盤管、一級(jí)冷卻盤管(使用12℃～16℃ 中溫冷凍水)、淋水室、二級(jí)冷卻盤管(使用0℃～5℃低溫溫冷凍水)、送風(fēng)機(jī)、二級(jí)加熱盤管、過(guò)濾器組成。新風(fēng)處理機(jī)組的組段方式見(jiàn)圖1。飽和干蒸汽加濕為等溫加濕，直接將空氣加入到空氣中，加濕迅速、均勻、穩(wěn)定、不帶水滴、不帶***、設(shè)備簡(jiǎn)單、安裝靈便、運(yùn)行費(fèi)用低，選擇適當(dāng)?shù)目刂苾x表，能夠滿足工藝對(duì)室內(nèi)相對(duì)濕度波動(dòng)范圍小于±3％的要求。
加濕方案采用高壓噴霧加濕器 電熱加濕器的方式。高壓噴霧加濕器用于粗調(diào)節(jié)；電熱加濕器用于精調(diào)節(jié)，選擇適當(dāng)?shù)目刂苾x表，其精度調(diào)節(jié)能夠滿足相對(duì)濕度± 3％ 的要求。高壓噴霧加濕是利用壓縮空氣與水混合噴霧將水破碎成微小水滴，對(duì)空間進(jìn)行直接加濕。優(yōu)點(diǎn)：微霧效果，加濕量大，安裝簡(jiǎn)單方便，免清洗，使用壽命長(zhǎng)，設(shè)備價(jià)格低；缺點(diǎn)：需配壓縮空氣源，加濕精度低。電熱加濕是用發(fā)熱體將水加熱至沸點(diǎn)，產(chǎn)生水蒸汽并釋放到空氣中進(jìn)行加濕。優(yōu)點(diǎn)：加濕均勻、穩(wěn)定、不帶水滴、不帶***，加濕精度高；缺點(diǎn)：易結(jié)垢，耗電量大，運(yùn)行費(fèi)用高。我們都知道，高壓微霧加濕器應(yīng)用行業(yè)廣泛，在印刷、紡織、、畜牧、農(nóng)業(yè)、景觀等行業(yè)都有廣泛的應(yīng)用，關(guān)于高壓微霧加濕器的工作原理我們都已經(jīng)有所了解，現(xiàn)在就來(lái)看一下使用高壓微霧加濕器的注意事項(xiàng)吧。新風(fēng)和醋栗機(jī)組由初效過(guò)濾器、中效過(guò)濾器、一級(jí)加熱盤管、一級(jí)冷卻盤管、高壓噴霧加濕器、電熱加濕器、二級(jí)冷卻盤管、送風(fēng)機(jī)、二級(jí)加熱盤管、過(guò)濾器組成、新風(fēng)處理機(jī)組的阻段方式見(jiàn)圖3.
冬季加濕過(guò)程：新風(fēng)先由一級(jí)加熱器從點(diǎn)W加熱至點(diǎn)S，再通過(guò)高壓噴霧加濕器焓加濕至點(diǎn)P，然后由電熱式加濕器加濕。設(shè)定干球溫度Tdb=15度，是因?yàn)閷?duì)于蒸汽加濕，能夠正常加濕的溫度為Tdb=14度左右.
