1現(xiàn)代化的工業(yè)生產(chǎn)對(duì)空氣濕度的重視程度日益提高,要求也越來(lái)越高,對(duì)于電子芯片廠房,如果濕度不能滿足要求,將會(huì)靜電,使產(chǎn)品的成品率下降、芯片受損,嚴(yán)重影響企業(yè)生產(chǎn)。
本工程為集成電路產(chǎn)品的生產(chǎn)項(xiàng)目,潔凈區(qū)平面為島型布置,操作區(qū)潔凈度為4,5級(jí), 由于生產(chǎn)工藝的要求,對(duì)溫、濕度的要求很高:溫度21℃ ±0.5℃ ,相對(duì)濕度40% ± 3% ;設(shè)備區(qū)潔凈度為5.5級(jí),無(wú)特定溫、濕度要求。凈化空調(diào)系統(tǒng)采用風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元(FFU) 干表冷器 新風(fēng)處理機(jī)組的型式。操作區(qū)為送風(fēng)區(qū),設(shè)備區(qū)為回風(fēng)區(qū)。冷源分為兩種:低溫冷凍水(0℃~5 oC), 中溫冷凍水(12℃~16℃);熱源為38℃~32℃ 的熱水, 由熱水鍋爐和帶熱回收的冷凍機(jī)組提供。潔凈區(qū)的溫度由干表冷器控制,相對(duì)濕度由新風(fēng)處理機(jī)組控制。但是它的霧化粒子的顆粒大,均勻性差,容易浪費(fèi)水源,不是特別適合于室內(nèi)加濕。
2 加濕方案選擇
由于熱源使用熱水,沒(méi)有蒸汽系統(tǒng), 出于減少系統(tǒng)種類的考慮,首先選擇非蒸氣的加濕方式。淋水室加濕為等焓加濕,在加濕過(guò)程中不僅可以清潔新風(fēng),部分去除新風(fēng)中的灰塵;還可以使新風(fēng)中的一部分化學(xué)物質(zhì)溶解于水, 降低新風(fēng)中的化學(xué)物質(zhì)的含量。淋水室全年運(yùn)行,冬季用于加濕、清潔新風(fēng),夏季則起到清潔新風(fēng)的作用。淋水室的缺點(diǎn)是占用空間大,在新風(fēng)處理機(jī)組中長(zhǎng)度為1.9 m;與空氣直接接觸,易受污染變臟,需要定期排污。新風(fēng)處理機(jī)組由初效過(guò)濾器、中效過(guò)濾器、一級(jí)加熱盤管、一級(jí)冷卻盤管(使用12℃~16℃ 中溫冷凍水)、淋水室、二級(jí)冷卻盤管(使用0℃~5℃低溫溫冷凍水)、送風(fēng)機(jī)、二級(jí)加熱盤管、過(guò)濾器組成。新風(fēng)處理機(jī)組的組段方式見(jiàn)圖1。飽和干蒸汽加濕為等溫加濕,直接將空氣加入到空氣中,加濕迅速、均勻、穩(wěn)定、不帶水滴、不帶***、設(shè)備簡(jiǎn)單、安裝靈便、運(yùn)行費(fèi)用低,選擇適當(dāng)?shù)目刂苾x表,能夠滿足工藝對(duì)室內(nèi)相對(duì)濕度波動(dòng)范圍小于±3%的要求。

加濕方案采用高壓噴霧加濕器 電熱加濕器的方式。高壓噴霧加濕器用于粗調(diào)節(jié);電熱加濕器用于精調(diào)節(jié),選擇適當(dāng)?shù)目刂苾x表,其精度調(diào)節(jié)能夠滿足相對(duì)濕度± 3% 的要求。高壓噴霧加濕是利用壓縮空氣與水混合噴霧將水破碎成微小水滴,對(duì)空間進(jìn)行直接加濕。優(yōu)點(diǎn):微霧效果,加濕量大,安裝簡(jiǎn)單方便,免清洗,使用壽命長(zhǎng),設(shè)備價(jià)格低;缺點(diǎn):需配壓縮空氣源,加濕精度低。電熱加濕是用發(fā)熱體將水加熱至沸點(diǎn),產(chǎn)生水蒸汽并釋放到空氣中進(jìn)行加濕。優(yōu)點(diǎn):加濕均勻、穩(wěn)定、不帶水滴、不帶***,加濕精度高;缺點(diǎn):易結(jié)垢,耗電量大,運(yùn)行費(fèi)用高。我們都知道,高壓微霧加濕器應(yīng)用行業(yè)廣泛,在印刷、紡織、、畜牧、農(nóng)業(yè)、景觀等行業(yè)都有廣泛的應(yīng)用,關(guān)于高壓微霧加濕器的工作原理我們都已經(jīng)有所了解,現(xiàn)在就來(lái)看一下使用高壓微霧加濕器的注意事項(xiàng)吧。新風(fēng)和醋栗機(jī)組由初效過(guò)濾器、中效過(guò)濾器、一級(jí)加熱盤管、一級(jí)冷卻盤管、高壓噴霧加濕器、電熱加濕器、二級(jí)冷卻盤管、送風(fēng)機(jī)、二級(jí)加熱盤管、過(guò)濾器組成、新風(fēng)處理機(jī)組的阻段方式見(jiàn)圖3.
冬季加濕過(guò)程:新風(fēng)先由一級(jí)加熱器從點(diǎn)W加熱至點(diǎn)S,再通過(guò)高壓噴霧加濕器焓加濕至點(diǎn)P,然后由電熱式加濕器加濕。設(shè)定干球溫度Tdb=15度,是因?yàn)閷?duì)于蒸汽加濕,能夠正常加濕的溫度為Tdb=14度左右.
