1現(xiàn)代化的工業(yè)生產(chǎn)對空氣濕度的重視程度日益提高，要求也越來越高，對于電子芯片廠房，如果濕度不能滿足要求，將會靜電，使產(chǎn)品的成品率下降、芯片受損，嚴重影響企業(yè)生產(chǎn)。

本工程為集成電路產(chǎn)品的生產(chǎn)項目，潔凈區(qū)平面為島型布置，操作區(qū)潔凈度為4，5級， 由于生產(chǎn)工藝的要求，對溫、濕度的要求很高：溫度21℃ ±0．5℃ ，相對濕度40％ ± 3％ ；設備區(qū)潔凈度為5．5級，無特定溫、濕度要求。凈化空調(diào)系統(tǒng)采用風機過濾單元(FFU) 干表冷器 新風處理機組的型式。操作區(qū)為送風區(qū)，設備區(qū)為回風區(qū)。冷源分為兩種：低溫冷凍水(0℃～5 oC)， 中溫冷凍水(12℃～16℃)；熱源為38℃～32℃ 的熱水， 由熱水鍋爐和帶熱回收的冷凍機組提供。潔凈區(qū)的溫度由干表冷器控制，相對濕度由新風處理機組控制。等溫加濕過程相對于等焓加濕，具有蒸汽分布均勻，無局部過飽和現(xiàn)象。

2 加濕方案選擇

由于熱源使用熱水，沒有蒸汽系統(tǒng)， 出于減少系統(tǒng)種類的考慮，首先選擇非蒸氣的加濕方式。淋水室加濕為等焓加濕，在加濕過程中不僅可以清潔新風，部分去除新風中的灰塵；還可以使新風中的一部分化學物質(zhì)溶解于水， 降低新風中的化學物質(zhì)的含量。淋水室全年運行，冬季用于加濕、清潔新風，夏季則起到清潔新風的作用。淋水室的缺點是占用空間大，在新風處理機組中長度為1．9 m；與空氣直接接觸，易受污染變臟，需要定期排污。新風處理機組由初效過濾器、中效過濾器、一級加熱盤管、一級冷卻盤管(使用12℃～16℃ 中溫冷凍水)、淋水室、二級冷卻盤管(使用0℃～5℃低溫溫冷凍水)、送風機、二級加熱盤管、過濾器組成。新風處理機組的組段方式見圖1。其特點：采用原裝進口增壓泵，運行平穩(wěn)、噪音低、壽命長、安全可靠，確保供水壓恒定在0。

淋水室加濕方式，根據(jù)工程經(jīng)驗準確控制的精度為±5％，所以對于本工程加濕不能單一由淋水室控制房間相對濕度，還需要通過表冷器對濕度進行控制，在冬季會產(chǎn)生加濕一再除濕的情況出現(xiàn)， 即新風的加濕量要先超過計算值一部分，再通過冷卻盤管進行除濕，以達到房間相對濕度±3％的要求。6)不得將含有強酸性,強堿性,油污等液體注入加濕器中進行加濕,要定期清理水箱內(nèi)部污垢。

房間狀態(tài)點N， 可溫度L， 室外新風點w ；新風量為144 000m3／h，設計3臺新風處理機組，單臺機組加濕量為240 kg／h。

新風加濕過程：新風先由一級加熱器從點w加熱至點S’，再通過淋水室進行等焓加濕至點L’，然后由二級冷卻盤管進行除濕，由點L’處理至房間溫度點L。處理過程見圖2。

低溫冷凍水的負荷出現(xiàn)在夏季，二級冷卻盤管夏季用于除濕的冷量為1200 kW；而冬季除濕的冷量僅為60kW ， 占總能量的5％。根據(jù)冷凍機的啟動要求，啟動負荷必須要超過總制冷量的10％左右，所以在這種冷量負荷條件下，低溫冷凍機無法正常啟動。若要使低溫冷凍機在冬季正常啟動，需要冬季低溫冷凍水負荷≥ 120 kW，這就需要提高新風的加濕溫度，增大加濕量，然后通過冷卻盤管進行除濕。由于該方案冷、熱能量抵消比較多，不利于節(jié)能，所以淋水室的加濕方式不適合本項目。自帶過濾系統(tǒng)（PO過濾器，配有5微米、10微米雙極水過濾器）自帶緩沖水箱實現(xiàn)對水泵的連續(xù)降溫。

高壓微霧加濕器基本功能和應用范圍

基本功能：自動進水、缺水斷電自動保護、濕度自動控制、時間自動控制、水源過濾、漏電保護、電機過載保護、斷電瀉壓等。噴霧量大，每小時90--900KG，可滿足6000m?以下的空間加濕；功耗小，整套設備只需0.75～2.2KW。霧粒超細1--10um，呈煙霧狀，降溫效果，管路隨意走向，降溫均勻。自動控制。手動控制隨意切換，時間控制調(diào)節(jié)，實現(xiàn)無人化管理。應用回流新技術(shù)，避免管道積水、沉淀、長苔、保障噴頭噴霧效果，噴頭陪有止滴器，噴頭不滴水。配備多重過濾器和過濾箱，有效凈化水源，減少噴頭堵塞，增加運行效率。它以改善空氣質(zhì)量，美化環(huán)境為依托，以景觀、保濕、防塵、降溫、造景為目的，在自然園林、環(huán)境景觀等方面應用廣泛。反應速度僅僅需要2秒就能從停機到噴霧，達98%。該系統(tǒng)采用進口柱塞泵，可長時間連續(xù)運行，無動力易損部件，在高粉塵環(huán)境下照常運行。

應用范圍：紡織廠房、卷煙廠房、電子廠房、造紙廠房、印刷廠房、汽車涂裝廠房、木材（家具）加工廠房、生產(chǎn)廠房等加濕；發(fā)電廠廠房、煉鋼廠廠房內(nèi)等降溫；釀造、食品行業(yè)高溫高濕環(huán)境條件的加濕和降溫。 　　

農(nóng)業(yè)：冷庫、溫室大棚、禽類養(yǎng)殖、牲畜養(yǎng)殖、花卉苗圃、食用菌類培養(yǎng)等加濕、降溫、消毒等。

噴嘴系統(tǒng)噴嘴系統(tǒng)依照一定的分布規(guī)律性分布在***空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)，系統(tǒng)分三組交叉式分布，每一組噴霧器量各自為1/7；2/7；4/7，根據(jù)階控閥操縱。噴嘴噴霧器量大，做霧化效果非常的好。每一個噴嘴可選配專利權(quán)的霧水擴散器，進一步提高做霧化實際效果。持續(xù)操縱型輔機必須選配輔機控制柜和階控閥。多機系統(tǒng)噴嘴系統(tǒng)內(nèi)部管路不排序，依據(jù)系統(tǒng)的開關(guān)量要求啟閉所有的噴嘴，固定不動的增濕量輸出。這是因為氣體也是由分子、原子組成，當空氣流動時分子、原子也會發(fā)生接觸分離而起電。