真空鍍膜加工廠MEMS真空鍍膜加工平臺——廣東省科學院半導(dǎo)體研究所是廣東省科學院下屬骨干研究院所之一，主要聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的應(yīng)用技術(shù)研究，兼顧重大技術(shù)應(yīng)用的基礎(chǔ)研究，立足于廣東省經(jīng)濟社會發(fā)展的實際需要，從事電子信息、半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用基礎(chǔ)性、關(guān)鍵共性技術(shù)研究，以及行業(yè)應(yīng)用技術(shù)開發(fā)。

 安裝調(diào)試階段是真空鍍膜機檢漏工作的主體。若設(shè)備焊縫的氣密性已經(jīng)通過加工階段的檢漏得以保證，那么在設(shè)備安裝、調(diào)試過程中，檢查、保證連接部位的密封性，是檢漏工作的***。包括各個管道、部件間的法蘭連接和動密封件等***部位。若同時對焊縫和連接部位檢漏，則檢漏的工作量和難度都加大。大型、復(fù)雜真空設(shè)備采用分段檢漏，每裝上一個部件，便對其連接部位和焊縫進行一次檢漏，達到要求后再裝下一個部件。因為將所有部件全裝配完后再檢漏，不僅懷疑部位太多，還可能多個漏孔同時漏氣，給總體檢漏帶來極大困難。

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真空鍍膜冷水機的工作原理：

制冷循環(huán)采用逆卡若循環(huán)，該循環(huán)由兩個等溫過程和兩個絕熱過程組成；其過程如下：

（1）等溫過程--液體吸熱氣化形成蒸汽的傳熱與液體汽化潛熱的傳遞平衡關(guān)系式為 q=kt 式中 k--常數(shù) ，稱為亨利定律； t --時間 。

（2）絕熱壓縮過程--利用蒸氣壓縮來實現(xiàn)制冷循環(huán)的兩個不同溫度的中間介質(zhì)的換熱遵循可逆卡諾爾公式 c =-lg（r22+h22 ） 式中 r22 --中間介質(zhì)的平均溫度 （ °C ），鉬金屬真空鍍膜加工廠， h22 --中間介質(zhì)的溫度 （°C ）。

當 r 22 -1 時稱做階段或低溫區(qū) ；當 r 22-2 時稱做第二階段或高溫區(qū)；兩者之差即代表該階段的溫差（或稱焓值）；此溫差的大小取決于兩相物質(zhì)的性質(zhì)及其比容的變化情況而定。

（3）再加熱的過程--把經(jīng)過絕熱的低溫區(qū)的工質(zhì)重新吸入到高溫區(qū)內(nèi)實現(xiàn)再加熱的過程稱為回熱或逆卡若循環(huán)。

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3.4.1準備過程

(1)動手操作前認真學習講操作規(guī)程及有關(guān)資料，氧化鉿真空鍍膜加工廠，熟悉鍍膜機和有關(guān)儀器的結(jié)構(gòu)及功能、操作程序與注意事項，保證安全操作。

(2)清洗基片。用無水酒精清洗基片，使基片鍍膜面清潔無臟污后用擦鏡紙包好，放在干燥器內(nèi)備用。

(3) 鍍膜室的清理與準備。先向真空腔內(nèi)充氣一段時間，然后升鐘罩，海南真空鍍膜加工廠，裝好基片，清理鍍膜室，降下鐘罩。

3.4. 2試驗主要流程

(1)打開總電源，啟動總控電，升降機上升，真空腔打開后，放入需要的基片，確定基片位置(A、B、C、D)確定靶位置(1、 2、3、4，其中4為清洗靶)

(2)基片和靶準備好后，升降機下降至真空腔密封(注意:關(guān)閉真空腔時用手扶著頂蓋，以控制頂蓋與強敵的相對位置，過程中注意安全，小心擠壓到手指)

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