MEMS微納加工——廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是廣東省科學(xué)院下屬骨干研究院所之一，主要聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的應(yīng)用技術(shù)研究，兼顧重大技術(shù)應(yīng)用的基礎(chǔ)研究，立足于廣東省經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展的實(shí)際需要，從事電子信息、半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用基礎(chǔ)性、關(guān)鍵共性技術(shù)研究，以及行業(yè)應(yīng)用技術(shù)開(kāi)發(fā)。

微納加工制造用超高純電子氣體

“微納加工制造用超高純電子氣體”是***在2017年度***研發(fā)計(jì)劃，是由多家企業(yè)和多所高校聯(lián)合申請(qǐng)，刻蝕微納加工代工，該項(xiàng)目研究很大程度上可以促進(jìn)微納電子制造用戰(zhàn)略性***材料的國(guó)產(chǎn)化電子氣體在半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用十分廣泛，在薄膜，光刻，貴州微納加工代工，刻蝕，摻雜，氣相沉積以及擴(kuò)散等環(huán)節(jié)都有所應(yīng)用，是支撐半導(dǎo)體發(fā)展必不i可少的基礎(chǔ)性原材料。

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MEMS設(shè)計(jì)微流控芯片

微流控芯片我們常見(jiàn)的特點(diǎn)就是可以多種單元技術(shù)在整體可控的微小i平臺(tái)上靈活組合，鍍膜微納加工代工，規(guī)模集成。MEMS設(shè)計(jì)微流控芯片是一種在微納米尺度空間中對(duì)流體進(jìn)行操控的科學(xué)技術(shù)，它具備將生***學(xué)等實(shí)驗(yàn)室的基本功能譬如樣品制備，反應(yīng)分離和檢測(cè)等縮微到一個(gè)幾平方厘米芯片的能力。真正意義上的世界上第i一塊微流控芯片從1990年誕生至今已經(jīng)取得了相當(dāng)大的發(fā)展。

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MEMS代工的壓力傳感器設(shè)計(jì)制造步驟

MEMS代工的壓力傳感器是一種薄膜元件，它在受到外部的壓力時(shí)會(huì)發(fā)生變形，可以通過(guò)電容感測(cè)兩個(gè)面之間的距離變化來(lái)加以測(cè)量，通常應(yīng)用于汽車(chē)行業(yè)，醫(yī)u療市場(chǎng)和工業(yè)領(lǐng)域。MEMS壓力傳感器是具有電源，接口電器，執(zhí)行器，微型傳感器和信號(hào)處理的微型機(jī)電系統(tǒng)，尺寸小，性?xún)r(jià)u比高。

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