






與PVD相比,ALD的沉積率通常較低。但ALD制備工藝可通過大批量的產(chǎn)能來進(jìn)行彌補(bǔ)。Beneq P400A 經(jīng)過優(yōu)化,可在批量生產(chǎn)中以更快的生長速度沉積高保形厚膜。
基于豐富的經(jīng)驗(yàn)和軟件,Beneq可根據(jù)您的要求針對性地設(shè)計(jì)ALD膜層結(jié)構(gòu),以此獲得的光學(xué)性能。
硅結(jié)構(gòu)測試在硅結(jié)構(gòu)測試中沉積保形的ALD薄膜堆層
光學(xué)鍍膜的特點(diǎn)是:表面光滑,膜層之間的界面是幾何劃分的,膜層在界面上的折射率可以發(fā)生跳躍,但在膜層是連續(xù)的,可以是透明介質(zhì),也可以是光學(xué)鍍膜。用物理或化學(xué)方法涂覆單層或多層透明介質(zhì)涂層,工藝品漸變加工供應(yīng)商,可在涂層表面涂覆,工藝品漸變加工價(jià)格,使下表面干涉相位變長或消除,使反射光增強(qiáng)或減弱,實(shí)現(xiàn)反射或反射。反光膜在現(xiàn)代被廣泛使用。高反射鏡是在玻璃基板上多層鍍膜而成的多層膜系統(tǒng)?;诜瓷湓鰪?qiáng)和反射增強(qiáng)原理的高反射率多層光學(xué)涂層廣泛應(yīng)用于激光器、激光陀螺和波分復(fù)用技術(shù)。

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