半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門(mén)類(lèi)可分為純氣，高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類(lèi)。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。電子氣體按純度等級(jí)和使用場(chǎng)合，可分為電子級(jí)，LSI（大規(guī)模集成電路）級(jí)，VLSI（超大規(guī)模集成電路)級(jí)和ULSI(特大規(guī)模集成電路）級(jí)。
近幾年來(lái)，智研數(shù)據(jù)研究中心隨著我國(guó)超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場(chǎng)需求量明顯增長(zhǎng)，電子特種氣體的國(guó)產(chǎn)化已是大勢(shì)所趨。據(jù)了解，我國(guó)在國(guó)產(chǎn)化方面取得可喜進(jìn)展：國(guó)產(chǎn)高純氨改變了國(guó)外氣體公司壟斷市場(chǎng)的格局，冷庫(kù)液氨，高純四氟化碳“有價(jià)無(wú)貨”時(shí)代也宣告結(jié)束，液氨供應(yīng)，高純已成功打開(kāi)。
電子氣體主要包括：、、乙、化氫、硒化氫、、四氟化碳、化三氫、、三氯化硼、三氟***、三氟化氮、、六、六氟化鎢、六氟化硫、、磷烷、、、氣、氨氣、電子級(jí)等.
其中六氟化硫、電子級(jí)、、磷烷使用較多。
工業(yè)體廠家淺談六氟化硫微水危害大么？對(duì)于六氟化硫微水怎么處理？
在電弧作用下，SF6分解為氟原子和硫原子，設(shè)備觸頭則蒸發(fā)出金屬Cu和W蒸汽，液氨，六氟化硫微水超標(biāo)就會(huì)導(dǎo)致水分和這些蒸汽生成金屬氟化物腐蝕元部件表面。
另還可能有、HF等物質(zhì)，不但會(huì)腐蝕設(shè)備，液氨生產(chǎn)廠家，一旦發(fā)生泄漏就會(huì)直接危害工作人員的生命健康。
我們使用SF6作為絕緣氣體是看中了其自身的優(yōu)越絕緣性，但是六氟化硫微水過(guò)多，導(dǎo)致水氣結(jié)霜會(huì)使得絕緣強(qiáng)度下降，直接影響設(shè)備的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。
看來(lái)六氟化硫微水的問(wèn)題不可小看啊，極微量的水分不會(huì)造成大的影響，但是如果超標(biāo)就會(huì)導(dǎo)致設(shè)備絕緣性能下降、腐蝕元部件、危害工作人員健康等一系列連鎖反應(yīng)。
為了避免六氟化硫微水可能造成的危害，我們應(yīng)該從上解決這個(gè)問(wèn)題。購(gòu)買(mǎi)品牌廠家生產(chǎn)的SF6氣體，確保在氣體出廠時(shí)水分就合格，是解決問(wèn)題的好方法。
問(wèn)：液態(tài)氦氣是不是氦氣？
答：液態(tài)氦氣就是在極低溫度下氣態(tài)氦氣轉(zhuǎn)化而來(lái)的液態(tài)氦，簡(jiǎn)稱液氦。氦在通常情況下為無(wú)色、無(wú)味的氣體，沸點(diǎn)-268.785℃，它的沸點(diǎn)是已知物質(zhì)中低的（比氫氣還要低）。所以當(dāng)溫度在4.18K時(shí)，氣體氦氣的性質(zhì)同一般液體一樣，加以適當(dāng)?shù)膲毫娃D(zhuǎn)化為液態(tài)氦氣了。實(shí)際上液態(tài)氦氣的制作不僅僅需要低溫，要知道氦氣是一沒(méi)有三相點(diǎn)的物質(zhì)，想要得到液態(tài)氦氣除了低溫之外，還需要一定的壓力。
問(wèn)：液態(tài)氦氣該如何貯存？一般的容器可以盛裝液態(tài)氦氣么?
答：液態(tài)氦氣沸點(diǎn)極低，當(dāng)溫度降至2.178K時(shí)，就轉(zhuǎn)變?yōu)橐环N粘度接近于零的具有流動(dòng)性的液氦，此時(shí)的液態(tài)氦氣被稱為超流體。此時(shí)的液態(tài)氦氣能過(guò)擴(kuò)散穿過(guò)許多常用的實(shí)驗(yàn)室材料，例如玻璃、橡膠、PVC等。所以液態(tài)氦氣的貯存需要使用的器皿。液氦以低溫儲(chǔ)存時(shí)，其蒸氣壓低，所以以低壓容器即可儲(chǔ)存，一般都以真空夾層容器儲(chǔ)存，內(nèi)罐材質(zhì)採(cǎi)用SUS304，可耐低溫。
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