半導(dǎo)體測試手動(dòng)探針臺是專門為教學(xué)及科研機(jī)構(gòu)量身定制的，具有良好的性能價(jià)格比，可測量pA級微小電流，配合測量儀器可完成標(biāo)準(zhǔn)MOS準(zhǔn)靜態(tài)C-V和高頻（1MHz）C-V等測量要求。操作簡便，性能穩(wěn)定可靠，屏蔽效果好。客戶名錄：復(fù)旦大學(xué)微電子系、復(fù)旦大學(xué)微電子研究院、北京大學(xué)電子系、中科院化學(xué)所、大連理工大學(xué)、四川大學(xué)微電子系、濟(jì)南大學(xué)物理系、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、南京大學(xué)物理系、浙江大學(xué)硅材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、95992部隊(duì)。
產(chǎn)品介紹
技術(shù)指標(biāo)
1、承載臺：
移動(dòng)范圍： 手動(dòng)調(diào)節(jié)，X方向200mm，螺距0.8mm，精度0.01mm；
手動(dòng)調(diào)節(jié)，Y方向200mm，螺距0.8mm，精度0.01mm；
手動(dòng)調(diào)節(jié)，Z方向5mm，螺距0.25mm，精度0.002mm；
2、探針座：
移動(dòng)范圍： 手動(dòng)調(diào)節(jié)，X方向13mm，螺距0.25mm，精度0.002mm；
手動(dòng)調(diào)節(jié)，Y方向13mm，螺距0.25mm，精度0.002mm；
手動(dòng)調(diào)節(jié)，Z方向13mm，螺距0.25mm，精度0.002mm。
3、顯微鏡：
移動(dòng)方向：Y，Z方向
總放大倍數(shù)：光學(xué)顯微鏡最大200X 連續(xù)可調(diào)；視頻顯微鏡最大400X,（10”液晶顯示器）
光源：環(huán)形熒光燈，220vAC，9w
4、 電氣指標(biāo)：
測量電流：可測量1pA電流
測量試驗(yàn)要求：a. 探針和chuck的漏電不大于1PA；
b. 探針和chuck的噪聲不大于1PA；
c. 測量電壓從-10V到+10V, 測量儀器4156C
5、加熱臺面指標(biāo)：
加熱溫度范圍：常溫－200攝氏度或更高
溫度控制精度：常溫－100攝氏度：±1攝氏度；
100－200攝氏度：±2攝氏度；
晶片固定方式：壓式固定和真空吸附