鄭州科佳電爐有限公司生產的多通道質子混氣供氣系統(tǒng)(主要產品是1-4通道混氣供氣),可將多種氣體按一定比例均勻混合后通入到管式爐中。各種氣體的流量是通過精密的質量流量計來控制,流量計和混氣罐都安裝在一個移動柜內,而且移動柜頂部可以放置管式爐。此系列設備可用于搭建CVD系統(tǒng),也可為樣品退火提供所需的氣氛環(huán)境。
技術參數(shù)
設備名稱 |
4通道供氣系統(tǒng)GSL-4Z |
3通道供氣系統(tǒng)GSL-3Z |
2通道供氣系統(tǒng)GSL-2Z |
供氣系統(tǒng) |
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移動柜 |
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壓力表量程 |
-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid) |
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不銹鋼截止閥 |
采用316不銹鋼制作 |
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氣體連接管 |
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混氣罐尺寸 |
Φ80X120mm |
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儀器尺寸 |
600x600x650 mm |
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質保 |
一年質保期,終生維護 |