五、切割系統(tǒng)闡述
1.單晶硅棒的安裝:將經(jīng)過截?cái)嚅_方滾圓的單晶硅棒,用環(huán)氧樹脂粘貼在不銹鋼工件上,利用小車,放置在切割機(jī)相應(yīng)區(qū)域。
2.多線切割能一次切割多個(gè)單晶硅棒(多錠切割),如圖1,我們將鋼線放置在放線輪和收線輪之間,通過一定纏繞方式形成相互平衡的網(wǎng)狀加工部分,加工過程中,鋼線做高速運(yùn)動(dòng),放線輪和收線輪分別完成切割工作,張緊輪控制機(jī)器張緊力。切割液噴嘴裝在單晶硅棒料兩側(cè),單晶硅棒垂直于鋼線進(jìn)給運(yùn)動(dòng)方向,切割液噴嘴噴出研磨液,高速運(yùn)動(dòng)的鋼線帶動(dòng)有磨粒的研磨液注射到加工區(qū)域,實(shí)現(xiàn)棒料的自動(dòng)化切割。
3.鋼線。直徑一般為180um順序來回纏繞在四個(gè)導(dǎo)線輪上,鋼線張力設(shè)為20-30N左右,在閉環(huán)反饋控制下保持不變,放線輪放出新的鋼線,收線輪收集已用過的鋼線,鋼線伸展開來有數(shù)百千米,主傳電機(jī)帶動(dòng)導(dǎo)線輪旋轉(zhuǎn),導(dǎo)輪帶動(dòng)切割線高速走動(dòng),線速在10-20ms.
4.導(dǎo)向輪。處于四個(gè)角的導(dǎo)線輪,經(jīng)過開鑿工藝處理。在輪體上刻有和導(dǎo)線直徑相適宜的500-700高線槽。
5.切割液。
砂漿的作用非常重要。在切割過程中起主要作用。砂漿是反復(fù)運(yùn)動(dòng)的鋼線帶到切割區(qū)域的,被帶入的砂漿量多少?zèng)Q定硅片質(zhì)量,在砂漿形成水平膜的條件下切片的效率和質(zhì)量比較好
形成水平薄膜的條件:在鋼線間距小于1mm的條件下,因液體表面張力,比較形成水平薄膜。
八、硅片多線切割過程情況處理
多線切割過程中常見問題有斷線、崩邊、線痕、TTV等。
1硅片厚薄不均
原因分析:
1)機(jī)器方面:切割機(jī)張力不夠,機(jī)器主輪振動(dòng),導(dǎo)輪不合格,機(jī)器調(diào)試問題,線徑不均勻,槽據(jù)不均勻,導(dǎo)線質(zhì)量等。
2)工藝參數(shù):工藝參數(shù)不合理,漿料配置問題,流量控制問題,出現(xiàn)二次切割。
3)員工方面:導(dǎo)線輪條錯(cuò)位,砂漿質(zhì)量未達(dá)標(biāo)等。
改進(jìn)方法:
1)如果同一硅片厚度呈現(xiàn)一大一小不均勻分布,應(yīng)該調(diào)整切割工藝參數(shù),進(jìn)給,線速,流量應(yīng)均勻變化
2)Tv偏大或偏小。根據(jù)厚度,計(jì)算出最佳成本及最佳槽距,鋼線,碳化硅,砂漿密度,
3)硅片進(jìn)刀處的進(jìn)線端偏偏厚或偏薄,應(yīng)修改進(jìn)刀時(shí)的流量。
2崩邊
原因:1)方棒溫度低,膠在凝固時(shí)的高溫反應(yīng)熱破壞了硅層結(jié)構(gòu);2)硅片預(yù)沖洗水溫過低,脫膠水溫過低,膠層未完全軟化時(shí)工作人員就用手把硅片推倒。3)由于采用的是小槽距大線徑,不可避免地會(huì)在出刀口時(shí)造成硅片向阻力小的一方傾斜,方棒兩頭受到的阻力最小。
改進(jìn)方法:
1)脫膠,經(jīng)過優(yōu)化粘膠方式,在設(shè)備配置的前提下,控制脫膠工藝參數(shù),溫水45-50侵泡時(shí)間在25-30min,做硅片隔條,降低硅片倒?fàn)顣r(shí)傾斜角度。
2)嚴(yán)格控制方棒超生池水溫一般在40度左右,超聲到粘膠的時(shí)間間隔在二小時(shí),粘膠房室溫控制在25度。
3)檢查機(jī)械,對開方機(jī)器進(jìn)行一次進(jìn)給和轉(zhuǎn)速較正,開方后的方棒滾圓,定期進(jìn)行設(shè)備維護(hù)
4)采用線開方和磨面機(jī),進(jìn)行硅片腐蝕,跟換粘接力強(qiáng)但硬度適中的粘接劑。
九、硅片多線切割目前存在的主要問題
1)SIC,在硅片切割中很關(guān)鍵,碳化硅顆粒的形狀影響到切割效率和成品率。目前國內(nèi)碳化硅大部分摻入回收砂,回收砂圓度高、棱角少導(dǎo)致切割效率下降成品率下降,這方面急需國家制定相關(guān)的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
2)PEG聚乙二醇液體,晶硅切割液以PEG為主添加其他助劑復(fù)配而成PEG應(yīng)該具備適宜粘連指標(biāo),浸潤性好,排屑能力強(qiáng),有良好的高懸浮、高潤滑、高分散特性,能滿足整個(gè)切片過程中對切割液質(zhì)量要求和技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。
十、光伏材料晶硅電池硅片多線切割技術(shù)展望
1)改善成品率和保持硅片質(zhì)量情況下,減少硅片切割成本。
2)利用技術(shù)降低切割損耗。
3)改進(jìn)切片技術(shù)提高成品率和生產(chǎn)效率。
(專業(yè)光伏線切割冷卻水系統(tǒng)-凌富機(jī)電)
熱線:400-619-3318