設備性能
半導體激光劃片機采用半導體泵浦激光器,一體化程度更高、光束質(zhì)量更好、運行成本更低、免維護時間更長;
關鍵部件均采用進口產(chǎn)品,整機結構簡單、劃片速度快、精度更高,能24小時長期連續(xù)工作。
應用領域
太陽能行業(yè)單晶硅、多晶硅、非晶硅帶太陽能電池片(cell)和硅片(wafer)的劃片(切割切片);
電子行業(yè)單晶硅和多晶硅硅片(wafer)的分離切割。
主要技術參數(shù)
激光波長 1.064μm
劃片精度 ≤&plu***n;10μm
***大劃片厚度 1.2mm
劃片線寬 ≤30μm
激光重復頻率 200Hz~50kHz
***大劃片速度 200mm/s
激光***大功率 ≥20W
工作臺幅面 350×350mm
使用電源 380V(220V)/ 50Hz/ 5kVA
冷卻方式 恒溫循環(huán)水冷
工作臺 雙***負壓吸附,T型臺雙工位交替工作