電子顯微鏡的工作是進(jìn)入微觀世界的工作。我們平常所說(shuō)的微乎其微或微不足道的東西，在微觀世界中，這個(gè)微也就不稱(chēng)其微，我們提出用納米作為顯微技術(shù)中的常用度量單位，即1nm=10-6mm。

掃描電鏡成像過(guò)程與電視成像過(guò)程有很多相似之處，而與透射電鏡的成像原理完全不同。透射電鏡是利用成像電磁透鏡一次成像，而掃描電鏡的成像則不需要成象透鏡，其圖象是按一定時(shí)間、空間順序逐點(diǎn)形成并在鏡體外顯像管上顯示。

二次電子成象是使用掃描電鏡所獲得的各種圖象中應(yīng)用泛，分辨本領(lǐng)的一種圖象。我們以二次電子成象為例來(lái)說(shuō)明掃描電鏡成象的原理。

樣品室處在聚光鏡之下，內(nèi)有載放樣品的樣品臺(tái)。樣品臺(tái)必須能做水平面上X、Y方向的移動(dòng)，以選擇、移動(dòng)觀察視野，相對(duì)應(yīng)地配備了2個(gè)操縱桿或者旋轉(zhuǎn)手輪，這是一個(gè)精密的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，每一個(gè)操縱桿旋轉(zhuǎn)10圈時(shí)，樣品臺(tái)才能沿著某個(gè)方向移動(dòng)3mm左右?，F(xiàn)代電鏡可配有由計(jì)算機(jī)控制的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的樣品臺(tái)，力求樣品在移動(dòng)時(shí)，固定時(shí)穩(wěn)定；并能由計(jì)算機(jī)對(duì)樣品做出標(biāo)簽式***標(biāo)記，以便使用者在需要做回顧性對(duì)照時(shí)依靠計(jì)算機(jī)***查找，這是在手動(dòng)選區(qū)操作中很難實(shí)現(xiàn)的。　

平時(shí)電鏡使用者都進(jìn)行常規(guī)樣品的觀察，常規(guī)樣品不像分辨率標(biāo)準(zhǔn)樣品那么理想，樣品比較復(fù)雜，而且有時(shí)候關(guān)注點(diǎn)并不相同。因此我們要根據(jù)樣品類(lèi)型以及所關(guān)注的問(wèn)題選擇合適的電鏡條件。

關(guān)注分辨率、襯度、景深、形貌的真實(shí)性、其它分析的需要等等，掃描電鏡能譜檢測(cè)服務(wù)，不同的關(guān)注點(diǎn)之間需要不同的電鏡條件，有時(shí)甚至相互矛盾。因此我們必須明確拍攝目的，尋找適合的電鏡條件，而不是貿(mào)然的追求大倍數(shù)。

電鏡的工作條件包括很多，加速電壓、束流束斑、工作距離、光闌大小、明暗對(duì)比度、探測(cè)器的選擇等。本期將為大家介紹束流束斑的選擇。

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