高分辨率的圖像要求樣品盡量的薄，電子束的能量盡量的高。因此可以認(rèn)為電子不會(huì)被樣品吸收，樣品也就無法改變電子波的振幅。由于在這種情況下樣品僅僅對(duì)波的相位造成影響，這樣的樣品被稱作純相位物體。純相位物體對(duì)波相位的影響遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過對(duì)波振幅的影響，因此需要復(fù)雜的分析來得到觀察到的圖像強(qiáng)度。例如，為了增加圖像的對(duì)比度，TEM需要稍稍離開聚焦位置一點(diǎn)。這是由于如果樣品不是一個(gè)相位物體，和TEM的對(duì)比度傳輸函數(shù)卷積以后將會(huì)降低圖像的對(duì)比度。

掃描電鏡雖然是顯微鏡家族中的后起之秀，但由于其本身具有許多的優(yōu)點(diǎn)，發(fā)展速度是很快的。 

1 儀器分辨率較高，通過二次電子像能夠觀察試樣表面6nm左右的細(xì)節(jié)，采用LaB6電子，可以進(jìn)一步提高到3nm。 

2 儀器放大倍數(shù)變化范圍大，且能連續(xù)可調(diào)。因此可以根據(jù)需要選擇大小不同的視場進(jìn)行觀察，同時(shí)在高放大倍數(shù)下也可獲得一般透射電鏡較難達(dá)到的高亮度的清晰圖像。

擴(kuò)散泵的工作原理是用電爐將特種擴(kuò)散泵油加熱至蒸汽　狀態(tài)，掃描電鏡EDS技術(shù)服務(wù)，高溫油蒸汽膨漲向上升起，靠油蒸汽吸附電鏡鏡體內(nèi)的氣體，從噴嘴朝著擴(kuò)散泵內(nèi)壁射出，在環(huán)繞擴(kuò)散泵外壁的冷卻水的強(qiáng)制降溫下，油蒸汽冷卻成液體時(shí)析出氣體排至泵外，由機(jī)械泵抽走氣體，油蒸汽冷卻成液體后靠重力回落到加熱電爐上的油槽里循環(huán)使用。擴(kuò)散泵的抽氣速度很快，約為每秒鐘570L左右，工作能力也較強(qiáng)，可達(dá)10～10Pa。但它只能在氣體分子較稀薄時(shí)使用，這是由于氧氣成分較多時(shí)易 使高溫油蒸氣燃燒，所以擴(kuò)散泵通常與機(jī)械泵串聯(lián)使用，在機(jī)械泵將鏡筒真空度抽到一定程度時(shí)，才啟動(dòng)擴(kuò)散泵。



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