






掃描電子顯微鏡是一種大型分析儀器,它廣泛應用于觀察各種固態(tài)物質(zhì)的表面超微結(jié)構(gòu)的形態(tài)和組成。 所謂掃描是指在圖象上從左到右、從上到下依次對圖象象元掃掠的工作過程。它與電視一樣是由控制電子束偏轉(zhuǎn)的電子系統(tǒng)來完成的,只是在結(jié)構(gòu)和部件上稍有差異而已。在電子掃描中,把電子束從左到右方向的掃描運動叫做行掃描或稱作水平掃描,把電子束從上到下方向的掃描運動叫做幀掃描或稱作垂直掃描。兩者的掃描速度完全不同,行掃描的速度比幀掃描的速度快,對于1000條線的掃描圖象來說,速度比為1000。

分辨率是掃描電鏡基本的性能判斷指標,首先我們要弄清掃描電鏡分辨率的一些細節(jié)問題。
通常有關(guān)分辨率的問題,都會遵循瑞利判據(jù)。即一個光點按照衍射理論會是一個衍射斑,兩個光點逐步靠近時,對應的衍射斑也從分離趨于重合。當兩個衍射斑的半高寬重疊,則認為不可區(qū)分了。此時兩個衍射斑之間的距離即為分辨率,。
但一般單幀圖像的儀器才完全符合此規(guī)律,比如TEM、光學顯微鏡等。掃描電鏡的分辨率以瑞利判據(jù)為基礎(chǔ),透射電鏡連續(xù)切片三維重構(gòu)檢測技術(shù)服務(wù),但也卻略有不同。掃描電鏡是屬于電子束移動型的,并不完全適用半高寬重合的概念。
掃描電鏡的分辨率分為理論分辨率、驗收分辨率,和一般測試過程中能達到的分辨率。
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