還有一種新型的電子場發(fā)射式電子***，由1個陰極和2個陽極構成，陽極上施加一稍低（相對第2陽極）的吸附電壓，用以將陰極上面的自由電子吸引出來，而第2陽極上面的極高電壓，將自由電子加速到很高的速度發(fā)射出電子束流。這需要超高電壓和超高真空為工作條件，它工作時要求真空度達到10-7Pa，熱損耗，使用壽命可達2000 h；電子束斑的光點更為尖細，直徑可達到10nm以下，植物鈣離子電鏡檢測服務，較鎢絲陰極（大于10nm）縮小了3個數(shù)量級；由于發(fā)光，它發(fā)出光斑的亮度能達到10 A/cm·s，較鎢絲陰極（106 A/cm·s ）也提高了3個數(shù)量級。場發(fā)射式電子因技術***、造價昂貴，只應用于高分辨電鏡當中。



進行材料斷口的分析。掃描電子顯微鏡的另一個重要特點是景深大，圖象富有立體感。掃描電子顯微鏡的焦深比透射電子顯微鏡大10倍，比光學顯微鏡大幾百倍。由于圖象景深大，故所得掃描電子象富有立體感，具有三維形態(tài)，能夠提供比其他顯微鏡多得多的信息，這個特點對使用者很有價值。掃描電子顯微鏡所顯示的斷口形貌從深層次、高景深的角度呈現(xiàn)材料斷裂的本質，在教學、科研和生產中，有的作用，在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個強有力的手段。



觀察試樣的各個區(qū)域的細節(jié)。試樣在樣品室中可動的范圍非常大。其他方式顯微鏡的工作距離通常只有2～3cm，故實際上只許可試樣在兩度空間內運動。但在掃描電子顯微鏡中則不同，由于工作距離大（可大于20 mm），焦深大（比透射電子顯微鏡大10倍），樣品室的空間也大，因此，可以讓試樣在三度空間內有6個自由度運動（即三度空間平移，三度空間旋轉），且可動范圍大，這對觀察不規(guī)則形狀試樣的各個區(qū)域細節(jié)帶來極大的方便。



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