






C1、C2的工作原理是通過改變聚光透鏡線圈中的電流,來達到改變透鏡所形成的磁場強度的變化,磁場強度的變化(亦即折射率發(fā)生變化)能使電子束的會聚點上下移動,在樣品表面上電子束斑會聚得越小,能量越集中,亮度也越大;反之束斑發(fā)散,照射區(qū)域變大則亮度就減小。通過調整聚光鏡電流來改變照明亮度的方法,實際上是一個間接的調整方法,亮度的大值受到電子束流量的限制。如想更大程度上改變照明亮度,只有通調整前面提到的電子***中的柵極偏壓,才能從根本上改變電子束流的大小。在C2上通常 裝配有活動光闌,用以改變光束照明的孔徑角,一方面可以限制投射在樣品表面的照明區(qū)域,掃描電鏡EDS檢測技術服務,使樣品上無需觀察的部分免受電子束的轟擊損傷;另一方面也能減少散射電子等不利信號帶來的影響。

掃描電子顯微鏡類型多樣,不同類型的掃描電子顯微鏡存在性能上的差異。根據電子種類可分為三種:場發(fā)射電子、鎢絲和六硼化鑭 。其中,場發(fā)射掃描電子顯微鏡根據光源性能可分為冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡和熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡。冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡對真空條件要求高,束流不穩(wěn)定,發(fā)射體使用壽命短,需要定時對針尖進行清洗,僅局限于單一的圖像觀察,應用范圍有限;而熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡不僅連續(xù)工作時間長,還能與多種附件搭配實現綜合分析。在地質領域中,我們不僅需要對樣品進行初步形貌觀察,還需要結合分析儀對樣品的其它性質進行分析,所以熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡的應用更為廣泛。

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