分辨率是掃描電鏡基本的性能判斷指標(biāo)，首先我們要弄清掃描電鏡分辨率的一些細(xì)節(jié)問題。

通常有關(guān)分辨率的問題，都會遵循瑞利判據(jù)。即一個(gè)光點(diǎn)按照衍射理論會是一個(gè)衍射斑，兩個(gè)光點(diǎn)逐步靠近時(shí)，對應(yīng)的衍射斑也從分離趨于重合。當(dāng)兩個(gè)衍射斑的半高寬重疊，則認(rèn)為不可區(qū)分了。此時(shí)兩個(gè)衍射斑之間的距離即為分辨率，。

但一般單幀圖像的儀器才完全符合此規(guī)律，比如TEM、光學(xué)顯微鏡等。掃描電鏡的分辨率以瑞利判據(jù)為基礎(chǔ)，但也卻略有不同。掃描電鏡是屬于電子束移動(dòng)型的，并不完全適用半高寬重合的概念。

掃描電鏡的分辨率分為理論分辨率、驗(yàn)收分辨率，和一般測試過程中能達(dá)到的分辨率。

由電子發(fā)射的電子束可達(dá)30keV，經(jīng)會聚透鏡、物鏡縮小和聚焦，在樣品表面形成一個(gè)具有一定能量、強(qiáng)度、斑點(diǎn)直徑的電子束。在掃描線圈的磁場作用下，入射電子束在樣品表面上按照一定的空間和時(shí)間順序做光柵式逐點(diǎn)掃描。由于入射電子與樣品之間的相互作用，將從樣品中激發(fā)出二次電子。由于二次電子收集極的作用，可將各個(gè)方向發(fā)射的二級電子匯集起來，再將加速極加速射到閃爍體上，轉(zhuǎn)變成光信號，經(jīng)過光導(dǎo)管到達(dá)光電倍增管，使光信號再轉(zhuǎn)變成電信號。這個(gè)電信號又經(jīng)視頻放大器放大并將其輸送至顯像管的柵極，調(diào)制顯像管的亮度。因而，再熒光屏上呈現(xiàn)一幅亮暗程度不同的、反映樣品表面形貌的二次電子象。

掃描電子顯微鏡是一種多功能的儀器，具有很多優(yōu)越的性能，是用途為廣泛的一種儀器，它可以進(jìn)行如下基本分析： 

 (1)三維形貌的觀察和分析； 

(2)在觀察形貌的同時(shí)，進(jìn)行微區(qū)的成分分析。 

 ①觀察納米材料。所謂納米材料就是指組成材料的顆粒或微晶尺寸在0.1～100 nm范圍內(nèi)，噬菌體透射電鏡技術(shù)服務(wù)，在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料。納米材料具有許多與晶態(tài)、非晶態(tài)不同的、的物理化學(xué)性質(zhì)。納米材料有著廣闊的發(fā)展前景，將成為未來材料研究的***方向。掃描電子顯微鏡的一個(gè)重要特點(diǎn)就是具有很高的分辨率，現(xiàn)已廣泛用于觀察納米材料。

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