掃描電子顯微鏡電子發(fā)射出的電子束經(jīng)過聚焦后匯聚成點光源；點光源在加速電壓下形成高能電子束；高能電子束經(jīng)由兩個電磁透鏡被聚焦成直徑微小的光點，在透過后一級帶有掃描線圈的電磁透鏡后，電子束以光柵狀掃描的方式逐點轟擊到樣品表面，同時激發(fā)出不同深度的電子信號。此時，電子信號會被樣品上方不同信號的探頭接收，通過放大器同步傳送到電腦顯示屏，形成實時成像記錄（圖a）。由入射電子轟擊樣品表面激發(fā)出來的電子信號有：俄歇電子（Au E）、二次電子（SE）、背散射電子（BSE）、X射線（特征X射線、連續(xù)X射線）、陰極熒光（CL）、吸收電子（AE）和透射電子（圖b）。每種電子信號的用途因作用深度而異。
***控制有手控和自控兩種方法，快門啟動裝置通常并聯(lián)在活動熒光屏板的扳手柄上。電子束流的大小可由探測器檢測，給操作者以***指示；或者應(yīng)用全自動***模式由計算機控制，按程序選擇***亮度和***時間完成影像的拍攝記錄?，F(xiàn)代電鏡都可以在底片上打印出每張照片拍攝時的工作參數(shù)，如：加速電壓值、放大率 、微米標(biāo)尺、簡要文字說明、成像日期、底片序列號及操作者注解等備查的記錄參數(shù)。觀察室與照相室之間有真空隔離閥。以便在更換底片時，只打開照相室而不影響整個鏡筒的真空。
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